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反应式等离子体镀膜设备 (RPD)
RPD镀膜适合钙钛矿、异质结太阳能电池、微型发光二极管与量子点显示器等的各种薄膜制备。
多功能薄膜沉积设备(SPE)
将真空蒸镀、反应式等离子镀膜、磁控溅射三大镀膜模块整合成一体。
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